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POD&Cassette 清洗機

• 采用成熟的沖水及熱烘的清洗方案

• 使用高穩定性產(chǎn)品裝載清洗結構

• 同一平臺支持不同載具的裝載與清洗

• POD, FOUP, Cassette, 各種非規則的parts等

• 高清洗效率（12UPH for POD）

• 測試方式：

  清洗后放置wafer靜置，然后測試增加particle

Cassette六軸測量?jì)x

• 多種規格Cassette兼容

• 測試點(diǎn)位可配置

• 測試參數可配置

• 自動(dòng)生成測試報告

• 測試有記錄可查詢(xún)

• FAB占用空間小

• Recipe設定保存，可快速導入
  

RSP Stock

大存儲容量----1100+

 RSP ID獲??；

 RSP窗口放入，自動(dòng)傳送&就近存儲；

 RSP拿取方式---MES命令或本地終端操作 

安全措施

 夾爪力度感應，避免掉片或夾壞RSP RSP入位感應，確保RSP放置準確 

管理系統功能：

 MES接口功能，實(shí)時(shí)更新RSP存儲位置 

 接收MES指令，完成RSP取放

兼容種類(lèi)：

• RSP

• POD 

• Foup 

• BOX

小環(huán)境

· 用于wafer Start,Mask Room以及其他需要暴露wafer/Mask 場(chǎng)合；
· 潔凈等級可從Class100凈化到Class1;
· 化學(xué)過(guò)濾率可達90%，持續12個(gè)月（需增加化學(xué)過(guò)濾器）;
· 具環(huán)境靜電去除功能，保護產(chǎn)品免受ESD損壞；
· 可根據實(shí)際場(chǎng)地進(jìn)行長(cháng)寬高定制；
· 可增設門(mén)禁系統，設置進(jìn)出人員權限；

推片器

· 抗靜電材料；推桿使用耐磨材料；

· Cassette 在位感應，防止誤操作;
· 兼容絕大多數cassette類(lèi)型;
· 支持隨啟隨停；
· 可根據客戶(hù)具體要求定制；

清洗機

· 采用成熟的沖水及熱烘的清洗方案；
· 使用高穩定性產(chǎn)品裝載清洗結構;
· 同一平臺支持不同載具與清洗;

電子貨架

· 儲位光感應設計，穩定性與可靠性高；